走进高新看创新｜上海张江：努力打造世界级集成电路产业集群

　　上海凯世通半导体股份有限公司是一家以离子束技术为核心的集科研、制造于一体的高科技企业。今年5月，该公司自主研发的首台低能大束流离子注入机，在国内一家12英寸主流集成电路芯片制造厂完成设备验证工作。离子注入机是芯片制造中的关键装备，从无到有，从小到大，凯世通的发展是张江打造硬核产业集群的一个缩影。

　　统计显示，十年来张江示范区推动了10万家科技企业、9000余家高新技术企业在此扎根成长。目前上海正统筹推进张江综合性国家科学中心、张江科学城、张江国家自主创新示范区的联动发展，建设具有全球重要影响力的高科技园区。

　　记者：陈杰 何欣荣 杨有宗

　　编辑：王梁

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